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众所周知，紫外线是由电磁波组成，其本身所带有的能量与波长直接有关，波长越短，能量越大。通过采用D波段内的真空紫外线（波长范围170~184.9nm），照射有机气体或恶臭气体分子，当这些气体分子吸收了这类紫外线光后，因紫外线光本身所带有的能量，使有机气体或恶臭气体分子内部发生裂解，利用紫外线光束可裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，达到脱臭及杀菌的目的。采用UV光解工艺对单一的有机废气物质或恶臭气体物质严格控制进气浓度、气量及其他条件时，UV光解设备功率充足的情况下，测得UV光解净化效率均可达到99%以上。但实际运用过程中，由于受到各种因素或者条件的影响。
工作人员必须做好必要的防范措施，而且要有专业的人员指导，应该把毒性气体浓度降低之后，工作人员方可进入，而且有毒气体的吸纳剂以及吸收剂都应该及时检查，确保压力以及浓度都达到处理标准。启动地埋式废气处理设备提升泵开始进水。配好，启动加药泵往混合池、絮凝池中加药，利用曝气空气搅拌。当絮凝池中水量达到液位后，打开加药泵及阀门，视污水情况确定加药量。启动空压机，打开进气阀，开启溶气水泵，将水打入溶气罐中，形成高压溶气水。气浮反应池中水量到达液位后，启动溶气释放器开始工作，使絮凝混合物上浮。浮渣层达到一定厚度时，开启刮渣机，将浮渣收集到集泥槽中，通过集泥槽进入污泥浓缩池。经气浮池处理的废气进入生物曝气池中进行生化处理。经曝气处理的污水进入MBR池。调试完成后保证整套地埋式废气处理设备正常工作。